特許

J-GLOBAL ID：200903072358978262

X線発生装置及びX線装置

発明者： 神高 典明 ,  近藤 洋行
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-132409
公開番号（公開出願番号）：特開平9-320793
出願日： 1996年05月27日
公開日（公表日）： 1997年12月12日
要約：

【要約】【課題】 X線強度変動を解消または抑制し、X線強度を安定化させたプラズマX線源を用いたX線発生装置を提供すること。【解決手段】 減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成し、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、前記プラズマ103形成のための励起エネルギービーム102照射を行う前に、該励起エネルギービーム102の前記標的部材111への照射予定位置に、或いは該照射予定位置を含む領域に、前記プラズマ103形成のための励起エネルギービーム102照射よりも低エネルギーまたは低エネルギー密度の励起エネルギービーム101照射を予め行う機構を設けたことを特徴とするX線発生装置。

請求項（抜粋）：

減圧された真空容器内の標的部材に励起エネルギービームを照射してプラズマを形成し、該プラズマからX線を取り出すX線発生装置において、前記プラズマ形成のための励起エネルギービーム照射を行う前に、該励起エネルギービームの前記標的部材への照射予定位置に、或いは該照射予定位置を含む領域に、前記プラズマ形成のための励起エネルギービーム照射よりも低エネルギーまたは低エネルギー密度の励起エネルギービーム照射を予め行う機構を設けたことを特徴とするX線発生装置。