特許
J-GLOBAL ID：200903072365103107
斜入射干渉計装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-049429
公開番号（公開出願番号）：特開2000-249523
出願日： 1999年02月26日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：
【要約】【目的】 干渉縞観察用光線束を逆進させる折り返しミラーを備えた斜入射干渉計装置において、折り返しミラーを所定の防塵筐体に収容することにより、干渉縞の観察を正確に行えるようにする。【構成】 第2回折格子14から斜め上方へ射出される物体光の0次回折光と参照光の-1次回折光との光干渉により生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーン18に形成させるための結像光学系20を、干渉縞観察用光線束を逆進させる折り返しミラー26を備えた構成とし、装置全長を短縮する。装置全長をさらに短縮するために干渉縞観察用光線束を鉛直下方へ偏向反射させる偏向ミラー24を設ける。このようにした場合、折り返しミラー26は、反射面が上向きになり塵埃等の異物が非常に付着しやすいので、これを干渉縞観察用光線束を透過させる窓部材32を有する防塵筐体30に収容することにより、折り返しミラー26への異物付着防止を図る。
請求項（抜粋）：
可干渉光を波面分割手段に入射させて2方向に波面分割し、一方の光線束を被検面に対して斜めに入射させてその反射光を物体光とするとともに他方の光線束を参照光とし、これら物体光および参照光を波面合成手段に入射させて波面合成し、この波面合成手段から同一方向に射出される前記物体光と前記参照光との光干渉により生じる干渉縞を干渉縞観察スクリーンに形成させるように構成された斜入射干渉計装置において、前記干渉縞を前記干渉縞観察スクリーンに形成する結像光学系が、前記同一方向に射出される干渉縞観察用光線束を逆進させる折り返しミラーと、この折り返しミラーと前記波面合成手段との間に、前記被検面および前記折り返しミラーに第1および第2焦点を位置させるようにして設けられた結像レンズと、この結像レンズと前記波面合成手段との間に設けられ、前記折り返しミラーからの逆進光の少なくとも一部を偏向反射させるハーフミラーとを備えてなり、前記干渉縞観察スクリーンが、前記ハーフミラーからの偏向反射光路内における前記被検面と共役の位置に配置されており、前記折り返しミラーが、前記干渉縞観察用光線束を透過させる窓部材を有する防塵筐体に収容されていることを特徴とする斜入射干渉計装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
Fターム (24件)：
2F064AA09
, 2F064CC10
, 2F064GG21
, 2F064GG38
, 2F064GG49
, 2F064HH03
, 2F064HH08
, 2F064JJ01
, 2F065AA45
, 2F065AA51
, 2F065DD13
, 2F065DD15
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065FF52
, 2F065HH12
, 2F065JJ03
, 2F065JJ14
, 2F065JJ26
, 2F065LL00
, 2F065LL12
, 2F065LL36
, 2F065LL42
, 2F065PP11
