特許

J-GLOBAL ID：200903072371929742

感光性樹脂組成物

発明者： 前田 ▲ひろ▼利 ,  国宗 弘一 ,  正木 良典
出願人/特許権者： チッソ株式会社
代理人 (1件)： 野中 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-329516
公開番号（公開出願番号）：特開平6-089028
出願日： 1991年11月18日
公開日（公表日）： 1994年03月29日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 感光性樹脂組成物としてポリアミド酸との相溶性ならびに感度が良く現像時のクラックが発生せず、入手し易い多官能の光重合性モノマーの使用が可能なものを提供する。【構成】 重合体(A)100重量部に対して1分子中2個以上のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する化合物(B)+化合物(C)が20〜200重量部、光重合開始剤又は増感剤(D)0.5〜20重量部からなる感光性樹脂組成物。(ただし、R1は3価又は4価の有機基、R2は2価の有機基を表わし、nは1又は2である。)(ただし、Zは2価の脂肪族基もしくは脂環式基であり、R3は水素原子、1価の有機基又は特性基であり、R4はH又は-ZR3である。)【効果】 経済的な材料を用いて製造が容易で、材料間の相溶性ならびに感度の良好な感光性樹脂組成物を提供できた。

請求項（抜粋）：

下記一般式(I)で表わされる反復単位を含む重合体(A)【化1】(但し、式(I)に於いてR1 は3価又は4価の有機基、R2 は2価の有機基を表わし、nは1又は2である。)、1分子中に2個以上のアクリロイル基又はメタクリロイル基を有する化合物(B)、(B)の化合物に対し0.01〜0.80モル当量の下記一般式(II)で表わされる化合物(C)、【化2】(但し、Zは2価の脂肪族基、もしくは脂環式基であり、R3 は水素原子、1価の有機基又は特性基であり、R4 は水素原子又は-Z-R3 である。)光重合開始剤又は増感剤(D)を(A)100重量部に対して(B)+(C)20〜200重量部、(D)0.5〜20重量部を混合して得られる感光性樹脂組成物。

IPC (10件)：

G03F 7/038 504 ,  C08L 79/08 LRB ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/027 514 ,  G03F 7/031 ,  G03F 7/075 511 ,  G03F 7/085 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/312 ,  H05K 3/28