特許
J-GLOBAL ID：200903072380816616
静電容量型圧力センサ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
沼形 義彰 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-113925
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300609
出願日： 1997年05月01日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 静電容量型センサにおいて、製造時のリード部材とサブストレイト電極との接続を確実とし、また、サブストレイト電極のリード部材の飛出し部による浮遊容量の変化のないようにする。【解決手段】 流体の圧力が印加されるダイアフラム1と、このダイアフラム1の裏面に平面的に形成された電極11と、サブストレイト2と、サブストレイト2の裏面に形成された電極21を備える静電容量型圧力センサにおいて、ダイアフラム電極11は、サブストレイト電極21よりも広い面積を有し、そして、サブストレイト電極21とリード部材22との接続部に対面する部分を有するようにする。
請求項（抜粋）：
流体の圧力が印加されるダイアフラムと、このダイアフラムの裏面に平面的に形成された電極と、ダイアフラムと一定間隔を隔てて対面して設けられたサブストレイトと、サブストレイトの裏面に形成され、そして、ダイアフラム電極と対面して設けられた電極を備える静電容量型圧力センサにおいて、ダイアフラム電極は、サブストレイト電極よりも広い面積を有し、そして、サブストレイト電極とリード部材との接続部に対面する部分を有することを特徴とする静電容量型圧力センサ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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