特許
J-GLOBAL ID：200903072380975161
カセットチャンバ及びカセット搬入搬出機構
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-317126
公開番号（公開出願番号）：特開平10-139159
出願日： 1996年11月13日
公開日（公表日）： 1998年05月26日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 パーティクルを発生させることなく上下方向の駆動力を利用してカセット支持台を垂直面内において、90度回転させるようにすること。【解決手段】 カセットの底面を受ける底面支持部52と背面を受ける背面支持部54を有するカセット支持台44と、カセット支持台を上下方向に回転自在に支持した状態で昇降可能になされた昇降台座34と、昇降台座が昇降することに応じて前記カセット支持台を略90度上下方向に回転させる回転機構58とを備え、カセット支持台は、被処理体を搬出する被処理体搬出口に対して直交する鉛直面内において回転するように構成する。カセットを載置したカセット支持台を垂直面内において90度回転させる。そして、このカセットは、カセットチャンバのフロント側に設けたカセット搬送アーム部によって、カセットポート台との間で水平面内において所定の角度に回転された状態で受け渡しが行われる。
請求項（抜粋）：
複数の被処理体を収納可能なカセットを収容して被処理体を搬入搬出可能とするカセットチャンバにおいて、前記カセットの底面を受ける底面支持部と背面を受ける背面支持部を有するカセット支持台と、前記カセット支持台を上下方向に回転自在に支持した状態で昇降可能になされた昇降台座と、前記昇降台座が昇降することに応じて前記カセット支持台を略90度上下方向に回転させる回転機構とを備え、前記カセット支持台は、前記被処理体を搬出する被処理体搬出口に対して直交する鉛直面内において回転することを特徴とするカセットチャンバ。
IPC (2件)：
FI (3件)：
B65G 49/07 L
, B65G 49/07 D
, H01L 21/68 A
