電子線式検査または測定装置およびその方法、高さ検出装置並びに電子線式描画装置

発明者： , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：高橋明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-220677
公開番号（公開出願番号）：特開平11-149895
出願日： 1998年08月04日
公開日（公表日）： 1999年06月02日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】画像歪みやデフォーカスによる解像度の低下などを低減して電子線像の質を向上させて、検査や測長を高精度、高信頼性でもって実行する。【解決手段】電子線によって被検査対象物上から発生する二次電子線像を検出する電子線像検出光学系と、被検査対象物上の領域における表面の高さを光学的に検出する光学的高さ検出装置と、被検査対象物上の表面の高さから、被検査対象物上の表面の高さと焦点制御電流又は焦点制御電圧との間の校正パタラメータに基づいて焦点制御電流又は焦点制御電圧を算出して対物レンズ103に与えるように制御して電子線を被検査対象物上に合焦点状態で集束させる焦点制御手段109と、焦点制御に基づいて生じる電子線像の倍率誤差を含む像歪を校正する偏向制御手段108と、二次電子線像に基づいて被検査対象物上に形成されたパターンの検査又は測定を行う画像処理手段とを有する。

請求項（抜粋）：

電子線源と該電子線源から発せられた電子線を偏向する偏向素子と該偏向素子で偏向される電子線を被検査対象物上に集束して照射する対物レンズとを有する電子光学系と、該電子光学系で偏向し、集束して照射された電子線によって前記被検査対象物上から発生する二次電子線像を検出する電子線像検出光学系と、被検査対象物上に格子状の光束を被検査対象物の斜め上方から投影する投影光学系と該投影光学系で投影された格子状の光束によって被検査対象物の表面において反射した格子状の光束を結像させてその光学像の位置を検出する検出光学系とを備え、該検出光学系で検出する格子状の光束からなる光学像の位置変化に基づいて前記被検査対象物上の領域における表面の高さを光学的に検出するように構成した光学的高さ検出装置と、該光学的高さ検出装置で検出された被検査対象物上の表面の高さに基づいて前記電子光学系の対物レンズに流す電流または印加する電圧を制御して電子線を被検査対象物上に合焦点状態で集束させる焦点制御手段と、前記電子線像検出光学系で検出される二次電子線像に基づいて被検査対象物上に形成されたパターンの検査または測定を行う画像処理手段とを有することを特徴とする電子線式検査または測定装置。

IPC (8件)：

H01J 37/153 , G01B 15/00 , G01N 23/225 , H01J 37/147 , H01J 37/21 , H01J 37/22 502 , H01J 37/244 , H01L 21/66

FI (8件)：

H01J 37/153 B , G01B 15/00 B , G01N 23/225 , H01J 37/147 B , H01J 37/21 B , H01J 37/22 502 H , H01J 37/244 , H01L 21/66 J

引用特許：

審査官引用 (13件)

パターン検査装置および走査型電子顕微鏡
公報種別：公開公報出願番号：特願平7-232566 出願人：株式会社ニコン
特開平3-115807
自動焦点合わせ装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-234761 出願人：株式会社日立製作所

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