特許

J-GLOBAL ID：200903072388698710

薄型基板用カセットの位置決め装置

発明者： 桐畑 直史
出願人/特許権者： 株式会社メックス
代理人 (1件)： 飯田 堅太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-126653
公開番号（公開出願番号）：特開平8-321541
出願日： 1995年05月25日
公開日（公表日）： 1996年12月03日
要約：

【要約】【目的】 薄型基板が収納されたカセットをカセットステーションに位置決めする際、位置決めにおける調整を極めて簡単に行い、しかもコストも低減できるカセット位置決め装置を提供すること。【構成】 カセット位置決め装置は、カセット10が載置されるカセットベース6と、カセットベース6を滑動するころ台3と、カセット10の位置決めをするストッパー4と、カセット10をクランプするクランパー5と、カセットベース16を定位置に復帰させようとするバネ手段から構成されている。そして前記バネ手段が、一端がカセットベース6に、他端が架台2に固着され、架台からカセットベースに延設する方向に対して直角方向に付勢力を有するバネ鋼製針金7を有している。

請求項（抜粋）：

カセットステーションを有する薄型基板搬送システムにおいて、薄型基板を収納するカセットが載置されるカセットベースと、前記カセットベースを滑動可能にさせるカセットベース滑動手段と、前記カセットの位置決めをするカセット位置決め手段と、前記カセットを固定するクランパー手段と、前記カセットベースを定位置に復帰する弾性手段とを有する薄型基板用カセットの位置決め装置であって、前記弾性手段が、前記カセットベースに一端が固着され他端が前記カセットステーションの架台に固着され、前記架台からカセットベースに延設する方向に対して直角方向に付勢力を有する弾性部材を有することを特徴とする薄型基板用カセットの位置決め装置。

IPC (2件)：

H01L 21/68 ,  B23P 19/00 301

FI (3件)：

H01L 21/68 G ,  H01L 21/68 T ,  B23P 19/00 301 D