ウエハーの位置決め装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：飯田堅太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-010557
公開番号（公開出願番号）：特開平6-224285
出願日： 1993年01月26日
公開日（公表日）： 1994年08月12日
要約：

【要約】【目的】非接触で安全に且つ正確に、そしてより速く、ウエハーの位置を位置決めすることができる位置決め装置を提供する。【構成】この位置決め装置は、水平面上のX・Y座標におけるX軸とY軸方向に取付台を移動させるX・Y軸駆動機構1と、取付台上に固定され、位置決めのために搬入されたウエハーの略中央を水平に支持し垂直軸の回りで回転する回転部3と、回転部3の中心位置からウエハーの縁部までの距離を光学的に一定角度毎に測定する縁部距離測定手段2とを備え、回転部3が一回転する間、縁部距離測定手段2が作動して、回転部3の中心位置からウエハーの縁部までの距離を一定角度毎に測定する。

請求項（抜粋）：

水平面上のX・Y座標におけるX軸とY軸方向に取付台を移動させるX・Y軸駆動機構と、該取付台上に固定され、位置決めのために搬入されたウエハーの略中央を水平に支持し垂直軸の回りで回転する回転部と、該回転部の中心位置から該ウエハーの縁部までの距離を一定角度毎に光学的に測定する縁部距離測定手段と、該縁部距離測定手段により測定された回転部の中心位置から該ウエハーの縁部までの距離に基づき、該ウエハーの中心位置と回転部の回転部中心間の距離と、該ウエハーの中心位置と回転部の回転部中心を結ぶ直線の基準線に対する角度を算出する距離角度算出手段と、該ウエハーの中心位置から該ウエハーの縁部までの半径を一定角度毎に算出し該半径の最短データに基づき、該ウエハーの切欠き部の基準線に対する偏位角度を算出する切欠き部角度算出手段と、該回転部の回転により該ウエハーを該偏位角度だけ回転させたとき、該ウエハーの中心位置が移動することにより生じる中心位置のX・Y偏位量を、前記距離角度算手段で算出された距離と角度のデータに基づき算出する偏位量算出手段と、を備えたことを特徴とするウエハーの位置決め装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

特開平3-050752
特開平2-031443
特開平4-249339

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