特許

J-GLOBAL ID：200903072392432252

オートフォーカス式顕微鏡

発明者： モシェ・フィナロブ
出願人/特許権者： ノバ・メジャリング・インストルメンツ・リミテッド
代理人 (1件)： 大島 陽一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-286585
公開番号（公開出願番号）：特開平8-211282
出願日： 1995年10月06日
公開日（公表日）： 1996年08月20日
要約：

【要約】【課題】 小開口数の対物レンズの顕微鏡にも適用可能で、また客体を走査中に使用可能なオートフォーカス機構を提供する。【解決手段】 このオートフォーカス機構は、主光路、対物レンズ、客体面、像面、及び前記対物レンズと前記客体面との間の距離を変化させて前記客体の像に焦点を合わせる手段を有する顕微鏡と共に作動し、好ましくは、パターンイメージングシステム、像検出器、及びパターン焦点分析器を有する。パターンイメージングシステムは、客体面上に少なくとも1つのパターンを結像させ、次に、パターンの像と客体の像とが合成されると共に反射され、主光路に沿って像面に至る。像検知器が反射された像を検知し、パターン焦点分析器は、像検知器の出力を分析することにより、パターンの鮮明度を測定する。パターン焦点分析器は、レンズと客体面の距離を変化させる装置に、焦点を合わせるべく移動することを指示することもできる。

請求項（抜粋）：

(A)主光路を有する顕微鏡の光学システムであって、(1)物体面を有する対物レンズと、(2)前記物体面と一定の位置関係にある、客体を載せる客体面と、(3)前記客体の像の焦点を合わせるべく、前記対物レンズと前記客体面との間の距離を変化させる手段と、(4)前記客体が結像される少なくとも1つの像面とを有する、該顕微鏡の光学システムと、(B)前記対物レンズを通し、前記主光路に沿って、前記客体面上に少なくとも1つのパターンを結像させるパターンイメージングシステムであって、前記少なくとも1つのパターン像は前記客体像と合成され、反射されて前記主光路に沿って前記像面に至る、該パターンイメージングシステムと、(C)前記反射された像を検出するための、前記少なくとも1つのパターンの内の1つの位置に配置された信号像検知器と、(D)前記像検知器の出力を分析することによって、前記少なくとも1つのパターンの鮮明度を測定するためのパターン焦点分析器とを有することを特徴とするオートフォーカス式顕微鏡。

IPC (3件)：

G02B 7/28 ,  G02B 21/00 ,  G03B 13/36

FI (2件)：

G02B 7/11 J ,  G03B 3/00 A

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開昭62-239116
  
• 特開平4-221917
  
• 特開平2-099907
  
• 特開昭63-239412