特許
J-GLOBAL ID：200903072393158316
製造管理装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-141371
公開番号（公開出願番号）：特開平9-326338
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：
【要約】【課題】 製造処理の所要時間に関する情報をユーザに提供でき、製造工程の管理を容易にすることができる製造管理装置を提供する。【解決手段】 製造装置の各部を制御する比較的単機能な下位の実行ユニットである位置合わせ制御ユニット21、ステージ制御ユニット22、基板搬送ユニット23などの各ユニットをマスターコンピュータ1が統合的に制御することにより、所定製品の自動製造工程を制御する。各ユニット21、22...の単数または複数の機能により実行され、自動製造工程の一部を成すプロセスについて、その実行に要した所要時間を内蔵クロック12により計時し、所定の記録形式に基づき、記憶装置15に記録する。記録された所要時間は、生産性分析プログラム13により分析され、その結果が表示装置14に表示される。
請求項（抜粋）：
製造装置の各部を制御する比較的単機能な下位の実行ユニットを主制御部が統合的に制御することにより、所定製品の自動製造工程が制御される製造管理装置において、前記実行ユニットの単数または複数の機能により実行され、前記自動製造工程の一部を成すプロセスについて、その実行に要した所要時間を計時する計時手段と、所定の記録形式に基づき、前記計時手段により計時された所要時間を記録する記録手段を有することを特徴とする製造管理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/02 Z
, H01L 21/30 502 Z
