特許

J-GLOBAL ID：200903072397783355

表面形状測定方法及び表面形状測定装置

発明者： 鎌田 照己
出願人/特許権者： 株式会社リコー
代理人 (1件)： 柏木 慎史 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-232470
公開番号（公開出願番号）：特開2003-042734
出願日： 2001年07月31日
公開日（公表日）： 2003年02月13日
要約：

【要約】【課題】 モアレ縞の位相を変化させるために格子パターンの移動動作を必要とせず、実体格子型のモアレ法に対して位相シフト法を簡単かつ支障なく適用できるようにする。【解決手段】 実体格子型のモアレ光学系において、少なくとも3種類の異なる波長帯の光を吸収するフィルタ12,13,14により形成した格子パターン15,16,17を重ねた格子パターン構造体11を用い、その各フィルタ12,13,14で吸収させる複数の波長の光毎に形成される複数のモアレ縞画像を撮像し位相シフト法を適用することによって、従来位相シフトを行うために必要であった格子パターンの移動機構が不要となるようにした。これにより複数の位相シフトされたモアレ画像を取得するために移動を待つ時間をなくすことができ、測定時間を短くでき、かつ、移動機構の移動精度による測定誤差を低減できるようにした。

請求項（抜粋）：

モアレ縞を発生させるための光源と、少なくとも3種類の異なる波長帯の光を吸収する各々のフィルタにより複数の格子パターンを形成して重ねた格子パターン構造体と、モアレ縞を撮像するためのレンズ及び撮像カメラを含む受光系とを有する実体格子型のモアレ光学系を検査光学系として用い、前記格子パターン構造体の前記各フィルタにより吸収される複数の波長の光毎に前記受光系により撮像された少なくとも3つの位相シフトしたモアレ縞の画像データに基づく演算処理により被検物表面の形状を3次元的に測定するようにした表面形状測定方法。

IPC (3件)：

G01B 11/25 ,  G01B 11/24 ,  G06T 1/00 420

FI (3件)：

G06T 1/00 420 C ,  G01B 11/24 E ,  G01B 11/24 K

Fターム (40件)：

2F065AA49 ,  2F065AA53 ,  2F065BB01 ,  2F065BB06 ,  2F065DD06 ,  2F065FF08 ,  2F065FF66 ,  2F065FF67 ,  2F065GG12 ,  2F065GG23 ,  2F065HH06 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ02 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ07 ,  2F065JJ25 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL22 ,  2F065LL46 ,  2F065MM03 ,  2F065MM04 ,  2F065MM07 ,  2F065MM28 ,  2F065NN01 ,  2F065NN20 ,  2F065PP02 ,  2F065PP12 ,  2F065PP13 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ31 ,  2F065QQ42 ,  5B047AA11 ,  5B047AB02 ,  5B047BB02 ,  5B047BC07 ,  5B047BC11 ,  5B047BC14 ,  5B047BC23 ,  5B047CA07