真空蒸着用材料

発明者： ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-152014
公開番号（公開出願番号）：特開平5-339708
出願日： 1992年06月11日
公開日（公表日）： 1993年12月21日
要約：

【要約】【目的】蒸着時に材料の飛散や高温での飛沫の発生がなく、厚み、組成の均一な膜が得られる真空蒸着用材料を提供することにある。【構成】真空蒸着用材として、発泡多孔質構造を有するものを用いることによって、良好に真空蒸着することができる。見かけ比重が原材料よりも5〜60%小さいものが好ましい。

請求項（抜粋）：