特許
J-GLOBAL ID：200903072405193791
ヘリウム精製装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八木田 茂 (外4名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-256806
公開番号（公開出願番号）：特開平6-107402
出願日： 1992年09月25日
公開日（公表日）： 1994年04月19日
要約：
【要約】【目的】 液体窒素を使用した従来装置の問題点を解決し、設備費用、ランニングコストを低く押えることを可能とするヘリウム精製装置を提供すること。【構成】 圧縮機1で高圧に圧縮され、油水分離器2、ドライヤ3で油水分を除去された低純度ヘリウムガスを、熱交換器Aで80〜100K程度に予冷したあと、小型ヘリウム冷凍機11の1段ステージ12に接続された熱交換器Bで40〜50K程度まで冷却する。次いで、吸着筒7で窒素や酸素を吸着、除去した後、熱交換器Aで入って来るヘリウムガスと熱交換し、室温付近まで暖め、再使用可能な状態にして外部へ供給される。
請求項（抜粋）：
低純度のヘリウムガス中の不純物を、小型ヘリウム冷凍機により低温状態で凝縮又は凝縮と吸着を併用することによって除去し、高純度化するようにしたことを特徴とするヘリウム精製装置。
IPC (3件)：
C01B 23/00
, B01D 53/04
, F25J 3/08
