特許
J-GLOBAL ID：200903072405586017
電極基板の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
佐藤 一雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-069840
公開番号（公開出願番号）：特開平10-268321
出願日： 1997年03月24日
公開日（公表日）： 1998年10月09日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 スペーサ配設工程における所要時間が短く、かつ、スペーサ配設の位置精度が高い電極基板及び液晶表示素子の製造方法を提供する。【解決手段】 能動素子及び配線を保護する保護膜8と、液晶セルの基板間隔を設定し保持する支持部材とを形成するための感光性有機樹脂膜9を透明基板1上に形成し、支持部材9aと、開口部を有する保護膜とを形成するために光透過率の異なる複数の領域を有するマスクを用いて感光性有機樹脂膜の上層部及び下層部の所定領域を選択的に露光し、感光性有機樹脂膜を現像して支持部材と、開口部を有する保護膜とを同時に形成するものである。
請求項（抜粋）：
透明基板上に形成された能動素子及び配線を保護する保護膜を形成するための第1の感光性有機樹脂膜を形成する第1の工程と、前記透明基板と共に液晶表示素子の液晶セルを構成する予定の他の透明基板と前記透明基板との基板間隔を設定し保持する支持部材を形成するための第2の感光性有機樹脂膜を前記第1の感光性有機樹脂膜上に形成する第2の工程と、前記支持部材を形成するために、光透過率の異なる複数の領域を有する第1のマスクを用いて、前記第2の感光性有機樹脂膜の所定領域のみを選択的に露光する第3の工程と、前記能動素子により駆動される画素電極が電気的に接続される前記能動素子の画素電極接続用電極上に開口部を有する前記保護膜を形成するために、光透過率の異なる複数の領域を有する第2のマスクを用いて、前記第1の感光性有機樹脂膜の所定領域を選択的に露光する第4の工程と、前記第1及び第2の感光性有機樹脂膜を同時に現像し、前記支持部材と、前記画素電極接続用電極上に開口部を有する前記保護膜とを同時に形成する第5の工程と、前記開口部を通して前記画素電極接続用電極に電気的に接続された画素電極を前記保護膜上に形成する第6の工程と、を備えたことを特徴とする電極基板の製造方法。
IPC (3件)：
G02F 1/1339 500
, G02F 1/136 500
, G09F 9/30 338
G02F 1/1339 500
, G02F 1/136 500
, G09F 9/30 338
