特許
J-GLOBAL ID：200903072406227606
マイクロレンズアレーを用いた多点同時変位測定方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
清水 守
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-112033
公開番号（公開出願番号）：特開平10-300420
出願日： 1997年04月30日
公開日（公表日）： 1998年11月13日
要約：
【要約】【課題】 音響光学偏向器のもつ非常に速い走査速度によって、試料の多点の相対位置や動的変形が、ほぼリアルタイムで測定できるマイクロレンズアレーを用いた多点同時変位測定方法を提供する。【解決手段】 音響光学検出器2を通過したレーザー光は、θだけ偏向された後、レンズLC 3により平行光となる。さらに、マイクロレンズアレー4を透過後、測定対象物5表面上に収束する。ここで、音響光学偏向器2への入力電圧Vi を制御することにより、測定対象物5表面上を走査させることができるようになっている。反射光はビームスプリッター6によりフォーカスセンサー(光検出器)7へと導かれる。
請求項（抜粋）：
測定対象物に対向してマイクロレンズアレーを配置し、音響光学偏向器をスキャナーとして用いて、コリメートされたレーザービームにより前記マイクロレンズアレーを走査することを特徴とするマイクロレンズアレーを用いた多点同時変位測定方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01B 11/00 F
, G01B 11/16 Z
