特許

J-GLOBAL ID：200903072411246643

電子プローブ微小分析装置

発明者： 業天 貴子
出願人/特許権者： 松下電子工業株式会社
代理人 (1件)： 小鍜治 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-049239
公開番号（公開出願番号）：特開平5-251527
出願日： 1992年03月06日
公開日（公表日）： 1993年09月28日
要約：

【要約】【目的】 異物の発生源を容易に精度よく特定する。【構成】 検出部1で検出した異物からの特性X線を中央処理装置2で処理し、構成元素を分析ピークとして表す。得られた分析ピークから異物の発生源を特定するために、分析ピークに関する情報(測定条件(加速電圧、ビーム電流など)、試料作製に使用した材料、試料作製に使用した装置の材料、異物の分布の仕方など)をキーボード5から入力する。これらの情報と分析データの記憶装置3に蓄積された特定結果(分析ピーク毎の関するデータと発生源の特定データ)とをファジィ制御回路4で組み合わせ処理し、確率が高いと思われるものから発生源を推論し、結果をCRT6に表示する。

請求項（抜粋）：

元素の特性X線を検出する検出手段と、前記検出手段で検出された信号を処理し分析情報を作る中央処理手段と、前記分析情報を格納する記憶手段と、前記検出手段で検出した信号に関する情報を入力する入力手段と、前記情報と前記分析情報とからファジィ制御によって前記元素の発生源を推論するファジィ制御回路を備えたことを特徴とする電子プローブ微小分析装置。