特許

J-GLOBAL ID：200903072413384164

ビーム照射装置

発明者： 若元 郁夫 ,  大屋 正志 ,  山下 一郎 ,  浦野 晋
出願人/特許権者： 三菱重工業株式会社
代理人 (1件)： 坂間 暁 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-085386
公開番号（公開出願番号）：特開平8-285998
出願日： 1995年04月11日
公開日（公表日）： 1996年11月01日
要約：

【要約】【目的】 コンパクトかつ低コストの粒子照射装置をえる。【構成】 長尺状の粒子ビームを大気中に出射する粒子ビーム発生装置1、粒子ビームの照射位置に照射対象シート7の表および裏を連続的にかつ幅方向を同粒子ビームの幅方向にそろえ供給するシート供給手段12a,12b,15a,15bを設ける。

請求項（抜粋）：

長尺状の粒子ビームを大気中に出射する粒子ビーム発生装置と、上記粒子ビームの照射位置に照射対象シートの表および裏を連続的にかつ幅方向を同粒子ビームの幅方向にそろえ供給するシート供給手段とを備えてなることを特徴とするビーム照射装置。

IPC (3件)：

G21K 5/04 ,  H01J 37/20 ,  H01J 37/30

FI (3件)：

G21K 5/04 E ,  H01J 37/20 Z ,  H01J 37/30 Z

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 電子ビーム照射方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-137126   出願人：三菱重工業株式会社
• 特開平2-061600
  
• 特開平2-061600
  
• 特公昭50-025598
  
• 特開平2-061600