特許

J-GLOBAL ID：200903072413691415

紫外線硬化型樹脂組成物

発明者： 五十嵐 一郎 ,  佐々木 裕 ,  実松 徹司 ,  太田 博之 ,  佐藤 雅伸 ,  西牟田 浩史
出願人/特許権者： 東亞合成化学工業株式会社 ,  大日本スクリーン製造株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-284021
公開番号（公開出願番号）：特開平5-100423
出願日： 1991年10月04日
公開日（公表日）： 1993年04月23日
要約：

【要約】【目的】活性エネルギー線の照射によって容易に硬化し、アルカリ溶解・剥離性を有する硬化物を形成する低粘度の樹脂組成物であり、特にエッチングレジスト用樹脂組成物として優れた紫外線硬化型樹脂組成物を提供する。【構成】下記(a)、(b)、(c)及び(d)からなり、25°Cにおける粘度が5000cps 以下であることを特徴とする硬化性樹脂組成物。(a)分子中に、一個のカルボキシル基及び一個のアクリロイル或はメタクリロイル基を持つ化合物(b)分子中に、二個以上のアクリロイル或はメタクリロイル基を持つ化合物(c)レベリング剤(d)第三級アミン型光開始剤、又はこれとチオキサントン系光開始剤からなる光開始剤

請求項（抜粋）：

下記(a)、(b)、(c)及び(d)からなり、25°Cにおける粘度が5000cps 以下であることを特徴とする紫外線硬化型樹脂組成物。(a)分子中に、一個のカルボキシル基及び一個のアクリロイル或はメタクリロイル基を持つ化合物(b)分子中に、二個以上のアクリロイル或はメタクリロイル基を持つ化合物(c)レベリング剤(d)第三級アミン型光開始剤、又はこれとチオキサントン系光開始剤からなる光開始剤。

IPC (13件)：

G03F 7/027 501 ,  C08F 2/50 MDP ,  C08F220/26 MML ,  C08F220/28 MMV ,  C09D 4/02 PDR ,  C09D 4/02 PDS ,  C09D 5/00 PNV ,  C09D 7/06 PSL ,  G03F 7/004 501 ,  G03F 7/004 511 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027 ,  C08F 2/44 MCR

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平1-261410
  
• 特開平3-024168
  
• 特開昭57-099636
  
• 特開昭62-288667