特許
J-GLOBAL ID：200903072416806680
荷電粒子検出器
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
小川 勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-338358
公開番号（公開出願番号）：特開平6-187940
出願日： 1992年12月18日
公開日（公表日）： 1994年07月08日
要約：
【要約】【目的】FIB装置における荷電粒子検出器において、シンチレータと光電子増倍管とを組み合わせた検出器の特長を活かし、二次電子ばかりでなく二次イオン(正極性)の検出モードも可能にする検出器を提供すること。【構成】シンチレータと光電子増倍管とを組み合わせた検出器(SP検出器)とイオン-電子変換電極とから構成されており、かつ両者はビーム照射点と見込み、さらに、両者は互いにも見込む位置に置かれている。【効果】半導体や磁気記録用などの微細素子をマスクレスで断面加工,エッチング,堆積などの加工を行う集束イオンビーム(FIB)装置において、試料からの二次電子ばかりでなく二次イオン(正極性)の検出が高精度,高信頼性,低価格で可能になる。
請求項（抜粋）：
電子検出器とイオン-電子変換用電極との組み合わせからなり、該電子検出器はビーム照射点を見込み、かつ該イオン-電子変換用電極はビーム照射点と該電子検出器とを同時に見込む関係位置に置くことを特徴とした荷電粒子検出器。
IPC (2件)：
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