特許
J-GLOBAL ID：200903072419068639
振動測定装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-332114
公開番号（公開出願番号）：特開平10-170334
出願日： 1996年12月12日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：
【要約】【課題】 測定系中に振動するものを配設することなしに微小振動の振動パターンの計測を行う。【解決手段】 被検振動体Tから反射されてくる光を導く被検光路からの光に、参照光路からの光を重ね合わして受光し、レーザ光の干渉縞信号を取得する。このとき、コントローラ10によりレーザ光源12からの出射レーザ光の波長を変調し、同時に振動付与器11により、レーザ光の周波数と同一の周波数で被検振動体Tを振動させ、変調されたレーザ光の位相を被検振動体の振動位相に対して変化させる。このようにしてコントローラ10による制御が行われている間にわたって、固体撮像素子30により干渉縞信号を取得して被検振動体における振動の振幅分布および位相分布を測定する。
請求項（抜粋）：
波長変調可能なレーザ光源と、被検震動体を振動させる振動付与器と、このレーザ光源からの出射レーザ光を二分割する光分割手段と、この光分割手段により分割された一方のレーザ光を前記被検振動体上に照射させ、前記被検振動体から反射されてくる光を導く被検光路と、この被検光路の長さと異なる光路長さを有し、前記光分割手段により分割された他方のレーザ光を導く参照光路と、前記被検光路を通ったレーザ光と前記参照光路を通ったレーザ光とを重ね合わせる光合成手段と、この光合成手段により重ね合わされたレーザ光を受光して前記重ね合わされたレーザ光の干渉縞信号を得る信号取得手段と、この信号取得手段により得られた前記干渉縞信号を信号処理する信号処理手段と、前記レーザ光源の出力波長を変調制御するレーザ波長変調手段とを備え、このレーザ波長変調手段により前記レーザ光源からの出射レーザ光の波長を変調し、前記振動付与器によりこのように変調されたレーザ光の周波数と同一の周波数で前記被検振動体を振動させ、前記変調されたレーザ光の位相を前記被検振動体の振動位相に対して変化させ、このような前記レーザ波長変調手段による制御が行われている間に前記信号取得手段により得られた干渉縞信号から、前記被検振動体における振動の振幅分布および位相分布を測定することを特徴とする振動測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
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