特許
J-GLOBAL ID：200903072421716010
面状陰極放電装置
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-062766
公開番号（公開出願番号）：特開平6-220630
出願日： 1991年01月08日
公開日（公表日）： 1994年08月09日
要約：
【要約】【目的】 面状陰極を有し且つ従来の放電停止圧力以下において放電を行い必要な処理を行うと共に真空度の測定を行う。【構成】 面状陰極36の裏面に磁極431及び441を配し,陰極の表面の放電空間37で電界420と磁界42を直交させてマグネトロン放電を行わせる,その際,従来の放電停止圧力以下においても負の空間電荷が支配する放電を行わせる為に充分な磁界と電界を発生する手段を設ける。
請求項（抜粋）：
内部を真空に出来る真空容器,前記真空容器の内部に設けられた陰極機構,前記陰極機構内の陰極の表面が面状をなし且つ陰極の放電にさらされる面(表面)の反対側の面(裏側)に磁気機構を配し,前記磁気機構により陰極の放電にさらされる面の一端から出て他端に入る磁力線を発生せしめ陰極表面上にほぼこれと平行な成分をもつ磁界を設定する手段,前記陰極に電力を供給して表面にある磁界と少なくとも直交する成分を有する電界を発生する手段,放電空間の圧力をガス導入系と排気系により調整することの出来る面状陰極放電装置において,前記圧力,電力及び磁界を調整して前記陰極の近くに負空間電荷放電を行わせることを特徴とする面状陰極放電装置。
IPC (2件)：
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