特許

J-GLOBAL ID：200903072422338787

シートメッシュ及び透過型電子顕微鏡用試料及びその作製方法

発明者： 池田 裕司
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 志賀 富士弥 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-141704
公開番号（公開出願番号）：特開平6-132001
出願日： 1993年06月14日
公開日（公表日）： 1994年05月13日
要約：

【要約】【目的】 試料に照射されるイオンビームを均一にし、広範囲の研磨を可能にするシートメッシュを提供する。【構成】 円板形状のシートメッシュ11の中央の開口部11aエッジにテーパ部11bを形成し、イオンビームBがエッジにあたらないようにすることにより、広範囲な試料面が研磨でき、しかもビーム乱流の発生を防止して均一な研磨を可能にする。

請求項（抜粋）：

中央に開口部を有し、該開口部を覆うように透過型電子顕微鏡用試料を載置した状態で該試料を支持するシートメッシュにおいて、前記開口部のエッジ部をテーパ状に形成したことを特徴とするシートメッシュ。

IPC (3件)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28 ,  G01N 1/32

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 特開平2-129842
  
• 特開昭59-130053
  
• 特開平2-129842
  
• 特開昭59-130053