ガスレーザ発振器

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (5件)：青木篤 , 鶴田準一 , 島田哲郎 , 廣瀬繁樹 , 西山雅也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-343777
公開番号（公開出願番号）：特開2006-156634
出願日： 2004年11月29日
公開日（公表日）： 2006年06月15日
要約：

【課題】操作者の作業を伴うことなしに、放電点灯前にレーザガスの異常を判断することにより放電管が絶縁破壊により破損するのを防止する。【解決手段】放電点灯前における放電管の複数の放電管セグメント(6a〜6d)毎の電圧を検出する電圧検出手段(4a〜4d)と、電圧検出手段により検出された複数の放電管セグメントの電圧(Vn)に基づいて、複数の放電管セグメントのそれぞれを点灯するか否かを判定する放電管セグメント点灯判定手段(1)とを具備し、放電管セグメント点灯判定手段は、複数の放電管セグメントのうちの全ての放電管セグメントの電圧が所定の電圧(Vb)よりも小さい場合にのみ、複数の放電管セグメントの全てを点灯させるようにしたガスレーザ発振器(10)が提供される。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

放電点灯前における放電管の複数の放電管セグメント毎の電圧を検出する電圧検出手段と、前記電圧検出手段により検出された前記複数の放電管セグメントの電圧に基づいて、前記複数の放電管セグメントのそれぞれを点灯するか否かを判定する放電管セグメント点灯判定手段とを具備し、前記放電管セグメント点灯判定手段は、前記複数の放電管セグメントのうちの全ての放電管セグメントの電圧が所定の電圧よりも小さい場合にのみ、前記複数の放電管セグメントの全てを点灯させるようにしたガスレーザ発振器。

IPC (1件)：

H01S 3/03

FI (1件)：

H01S3/03 Z

Fターム (5件)：

5F071EE03 , 5F071GG07 , 5F071JJ03 , 5F071JJ05 , 5F071JJ08

引用特許：

出願人引用 (1件)

高周波電源装置及びレーザ発振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-014199 出願人：株式会社東芝

審査官引用 (8件)

高周波電源装置及びレーザ発振装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-014199 出願人：株式会社東芝
特開平4-180273
特開平3-023686

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