特許
J-GLOBAL ID:200903072435502756
石英ガラスの製造方法及びその装置
発明者:
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出願人/特許権者:
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代理人 (1件):
上島 淳一
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-292771
公開番号(公開出願番号):特開平7-126019
出願日: 1993年10月28日
公開日(公表日): 1995年05月16日
要約:
【要約】【目的】石英ガラスの溶融時に容器等からの不純物の混入を防止し、かつガラス中に水酸基を取込まず、経済的に溶融することができる石英ガラスの製造方法及びその装置を提供しようとするものである。【構成】炉体20内に回転および昇降自在に設置された水冷式金属容器からなる溶融容器18と、供給原料が充填されるホッパー10を備えて炉体20内の溶融容器18に挿入される原料供給管16と、溶融容器16のプラズマアーク・カップリング帯域に対称的に配置されたプラズマアノードトーチ24とプラズマカソードトーチ26とからなるツインプラズマトーチとを備えた。
請求項(抜粋):
炉体内に回転および昇降自在に設置された水冷式金属容器からなる溶融容器と、ホッパーに充填された供給原料を前記炉体内の前記溶融容器に供給する原料供給管と、前記溶融容器のプラズマアーク・カップリング帯域に対称的に配置されたプラズマアノードトーチとプラズマカソードトーチとからなるツインプラズマトーチとを有し、溶融操作に先立ち前記溶融容器の底部に供給原料と同一の品質を有するシリカを所定の厚さに敷き詰めた後、対称的に配置された前記ツインプラズマトーチの前記プラズマアノードトーチと前記プラズマカソードトーチとから生成されるプラズマアークによりカップリングされる近傍を溶融部の頂点として溶融を行うことを特徴とする石英ガラスの製造方法。
IPC (2件):
引用特許:
審査官引用 (2件)
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特開平4-325425
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石英ガラスの製造方法及びその装置
公報種別:公開公報
出願番号:特願平6-058152
出願人:日本石英硝子株式会社, テトロニクスリサーチアンドデベロップメントカンパニーリミテッド
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