特許
J-GLOBAL ID：200903072439209930
縦型処理装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中本 菊彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-020555
公開番号（公開出願番号）：特開平6-216053
出願日： 1993年01月13日
公開日（公表日）： 1994年08月05日
要約：
【要約】【目的】 被処理体を弾性支持して移載する際の弾性手段の撓みによる傾斜等の不具合を防止する縦型処理装置を提供する。【構成】 下部の開口部3からウエハ2を収容して熱処理を行うプロセスチューブ1と、ウエハ2を保持するウエハボート12を載置してプロセスチューブ1内に収容する昇降機構13と、ウエハ2を昇降機構13に移載するウエハ移載装置とで処理装置の主要部を構成する。昇降機構13に、コイルスプリング17の弾性力を付勢して弾性支持され、上部にウエハ2を載置すると共に、プロセスチューブ1の開口部3を閉塞するキャップ16を設ける。昇降機構13のキャップ最下降位置に、キャップ16に付勢されるコイルスプリング17の弾性力を拘束するキャップ拘束部材22を設置する。これにより、ウエハ2の移載時にキャップ16をキャップ拘束部材22により拘束し、コイルスプリング17の撓みによる傾斜等に伴うウエハ2へのパーティクルの付着や損傷等を防止することができる。
請求項（抜粋）：
下部の開口部から被処理体を収容して適宜処理を行う処理部と、上記被処理体を保持する保持体を載置して上記処理部内に収容する昇降機構と、上記被処理体を上記昇降機構に移載する移載手段とを具備する縦型処理装置において、上記昇降機構に、弾性手段の弾性力を付勢して弾性支持され、上部に上記保持体を載置すると共に、上記処理部の開口部を閉塞する閉塞部材を設け、上記昇降機構の閉塞部材最下降位置に、閉塞部材に付勢する弾性手段の弾性力を拘束する拘束手段を設置したことを特徴とする縦型処理装置。
IPC (4件)：
H01L 21/22
, H01L 21/205
, H01L 21/31
, H01L 21/68
