容量式湿度センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：伊藤洋二 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-353606
公開番号（公開出願番号）：特開2003-156464
出願日： 2001年11月19日
公開日（公表日）： 2003年05月30日
要約：

【要約】【課題】容量式湿度センサにおいて、センサを構成する基板サイズをより小さな面積としつつ、必要な容量変化量を効率的に確保できるようにする。【解決手段】半導体基板10の一面上には、一対の櫛歯状の電極31、32が同一平面上にて離間して対向するように形成され、一対の電極31、32を覆うように感湿膜50が形成されており、周囲の湿度の変化に応じて変化する一対の電極31、32間の容量値に基づいて湿度を検出するようにしている。ここで、一対の電極31、32における個々の櫛歯の幅をL1、一方の電極31の櫛歯とこれに対向する他方の電極32の櫛歯との距離をL2としたとき、幅L1が3μm未満の時は距離L2が5μmであり、幅L1が3μm以上の時は距離L2が5μm以下である関係を満足している。

請求項（抜粋）：

基板(10)と、前記基板の一面上に同一平面上にて離間して対向するように形成された一対の電極(31、32)と、前記一対の電極および前記一対の電極の間を覆うように形成され、湿度に応じて容量値が変化する感湿膜(50)とを備え、前記一対の電極は互いに櫛歯状をなして噛み合うように配置されており、周囲の湿度の変化に応じて変化する前記一対の電極間の容量値に基づいて湿度を検出するようにした容量式湿度センサであって、前記一対の電極における個々の櫛歯の幅をL1、一方の前記電極の櫛歯とこれに対向する他方の前記電極の櫛歯との距離をL2としたとき、前記幅L1が3μm未満の時は、前記距離L2が5μmであり、前記幅L1が3μm以上の時は、前記距離L2が5μm以下である関係を満足していることを特徴とする容量式湿度センサ。

Fターム (8件)：

2G060AA01 , 2G060AB02 , 2G060AE19 , 2G060AF10 , 2G060AG06 , 2G060AG08 , 2G060AG10 , 2G060BB10

引用特許：

審査官引用 (4件)

特開昭63-001962
特開昭57-148242
特開昭63-001962

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