特許
J-GLOBAL ID：200903072448423642
物品識別装置
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
梶原 辰也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-220678
公開番号（公開出願番号）：特開平11-054585
出願日： 1997年08月01日
公開日（公表日）： 1999年02月26日
要約：
【要約】【課題】 占有床面積、タクトタイム、価格を抑制する。【解決手段】 ウエハ識別装置20の受渡し装置21の片脇にはウエハ1の中心を検出するウエハ位置検出装置50が配設されている。受渡し装置21はウエハ1の識別コード4が付された位置を読取装置40の読取ステージ35の読取エリア47に合致させるように構成されている。読取時に、識別対象ウエハ1は受渡し装置21でウエハ位置検出装置50に移送され、受渡し装置21のウエハ1の中心が検出される。ウエハを受け取った受渡し装置21は読取ステージ35でウエハの識別コード4の位置を読取装置40の読取エリア47に合致させる。この際、ウエハ位置検出装置50で検出データが使用される。識別コード4が読取エリア47に合致されると、読取装置40は識別コード4を読み取る。
請求項（抜粋）：
物品に付された識別コードを光学的に読み取る読取装置と、この読取装置の読取ステージに物品を受け渡す受渡し装置とを備えており、各物品の識別コードを読み取ることにより物品を識別する物品識別装置において、前記受渡し装置の片脇に前記物品の位置を検出する物品位置検出装置が配設されており、前記受渡し装置は前記読取装置の読取ステージに配置されているとともに、物品の識別コードが付された位置を前記読取装置の読取エリアに前記物品位置検出装置による物品の位置の検出データに基づいて合致させるように構成されていることを特徴とする物品識別装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, H01L 21/02 A
