特許

J-GLOBAL ID：200903072450074043

露光装置、露光装置システムおよびデバイス製造方法

発明者： 京徳 諭
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-053010
公開番号（公開出願番号）：特開2000-252195
出願日： 1999年03月01日
公開日（公表日）： 2000年09月14日
要約：

【要約】【課題】 記憶装置の残りの容量が不足となることにより露光動作が停止するのを防止し、また、記憶装置の残り容量の不足によって露光動作が停止した場合でも、露光動作の再開を速やかに行うことができるようにする。【解決手段】 露光装置を制御するためのプログラムまたはデータを記憶装置104に格納するとともに、記憶装置内のプログラムまたはデータを更新する制御手段101、110を有する露光装置において、制御手段は、露光動作と前記更新を並列して行っている時にプログラムまたはデータの量が増加して記憶装置の残りの容量が所定の値以下にならないかどうかを監視し、所定の値以下になった場合は、露光動作の停止を予防するための所定の措置をとるとともに、露光動作を続行させる。また、制御手段は、露光動作中に記憶装置内のデータ容量を増加させる事象の履歴を取得する。

請求項（抜粋）：

露光装置を制御するためのプログラムまたはデータを記憶装置に格納するとともに、前記記憶装置内のプログラムまたはデータを更新する制御手段を有する露光装置において、前記制御手段は、露光動作と前記更新を並列して行っている時に前記プログラムまたはデータの量が増加して前記記憶装置の残りの容量が所定の値以下にならないかどうかを監視し、所定の値以下になった場合は、露光動作の停止を予防するための所定の措置をとるとともに、露光動作を続行させるものであることを特徴とする露光装置。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G03F 7/20 521 ,  G06F 12/02 530

FI (3件)：

H01L 21/30 502 G ,  G03F 7/20 521 ,  G06F 12/02 530 D

Fターム (7件)：

5B060AA09 ,  5B060AA14 ,  5F046AA28 ,  5F046BA03 ,  5F046DA30 ,  5F046DD01 ,  5F046DD06