特許
J-GLOBAL ID：200903072457268226
吸着ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
樺澤 襄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-198408
公開番号（公開出願番号）：特開平11-045930
出願日： 1997年07月24日
公開日（公表日）： 1999年02月16日
要約：
【要約】【課題】 被吸着物を確実に吸着できるとともに、開放時に被吸着物を吹き飛ばすことを防止した吸着ヘッドを提供する。【解決手段】 ICキャップ45の吸着時には、押し出しピンホルダ11をヘッド本体2の基端側に上昇させて押し出しピン14を粘着ゴム44の吸着口10より内側に収納する。真空排気によりリードバルブ21が浮き上がってエア孔15が連通し、吸着口10で吸引し、粘着ゴム44でICキャップ45を接着する。ICキャップ45を取り外すときには、真空排気通路より吸着ヘッド1に正圧を加える。リードバルブ21が元に戻ってエア孔15を閉塞し、押し出しピンホルダ11を押圧し、吸引口10からの吸引を停止するとともに、押し出しピン14を粘着ゴム44の吸着口10より突出させてICキャップ45を押圧し、粘着ゴム44との接着を剥離して取り外す。
請求項（抜粋）：
真空排気する真空排気通路に連通して先端に形成され被吸着部材を吸着する吸着口と、この吸着口の周囲に形成された粘着手段と、前記吸着口に進退自在に配設されこの粘着手段より突出可能な押し出しピンとを具備したことを特徴とする吸着ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 B
, H05K 13/04 A
