特許

J-GLOBAL ID：200903072469399032

洗浄保護治具

発明者： 田中 澄 ,  米田 昌剛
出願人/特許権者： 東京エレクトロン株式会社
代理人 (1件)： 浅井 章弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2005-121689
公開番号（公開出願番号）：特開2006-303123
出願日： 2005年04月19日
公開日（公表日）： 2006年11月02日
要約：

【課題】 外周面に保護すべき金属部材、例えば金属製冷却管が設けられた管状の被洗浄体を洗浄するに際して、この金属部材に洗浄液を付着させることなく、管状の被洗浄体の内面を金属汚染させることなく洗浄することができる洗浄保護治具を提供する。【解決手段】 外周面に保護すべき金属部材28が設けられている管状の被洗浄体Mの内面を洗浄液により洗浄する際に用いる洗浄保護治具において、前記金属部材を覆った状態で前記被洗浄体を内部に収容することができる非金属材料よりなる筒状の保護カバー部材62と、前記保護カバー部材の両端の内の少なくともいずれか一方の端部に着脱可能に設けられて前記被洗浄体の外周面と前記保護カバー部材の開口端との間に形成されるリング状の開口部を液密に閉じる非金属材料よりなる蓋部材64とにより構成する。【選択図】 図3

請求項（抜粋）：

外周面に保護すべき金属部材が設けられている管状の被洗浄体の内面を洗浄液により洗浄する際に用いる洗浄保護治具において、 前記金属部材を覆った状態で前記被洗浄体を内部に収容することができる非金属材料よりなる筒状の保護カバー部材と、 前記保護カバー部材の両端の内の少なくともいずれか一方の端部に着脱可能に設けられて前記被洗浄体の外周面と前記保護カバー部材の開口端との間に形成されるリング状の開口部を液密に閉じる非金属材料よりなる蓋部材と、 よりなることを特徴とする洗浄保護治具。

IPC (2件)：

H01L 21/304 ,  B08B 13/00

FI (2件)：

H01L21/304 648Z ,  B08B13/00

Fターム (6件)：

3B116AA18 ,  3B116AA46 ,  3B116AB43 ,  3B116BB03 ,  3B116CC01 ,  3B116CC03

引用特許：

出願人引用 (1件)

• バッチ式真空処理装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2001-322848   出願人：株式会社アルバック

審査官引用 (1件)

• 内視鏡の配管ブラッシング用カバー
  公報種別：公開公報   出願番号：特願2000-238470   出願人：旭光学工業株式会社