特許
J-GLOBAL ID：200903072474560461
積層型圧電アクチュエータ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
京本 直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-326056
公開番号（公開出願番号）：特開平6-120579
出願日： 1991年12月10日
公開日（公表日）： 1994年04月28日
要約：
【要約】【目的】高湿度環境で直流またはそれに近い駆動電圧で駆動されても寿命に影響を受けない、高信頼性積層型圧電アクチュエータを提供する。【構成】薄板状の圧電性セラミック片1とこれとほぼ同一形状の薄膜状の内部電極膜2A,2Bとを交互に重ねて一体化した積層体3の、積層方向に平行な4つの稜(その一つを破線8で囲んで示す)をそれぞれ形成するセラミック片1および内部電極膜2A,2Bの各層の4つの端部の各各を、断面台形状または円弧状に除去する。上記4つの稜を形成する上記各層の4つの端部に上記の加工を加えることによって、マイクロクラックの分布密度の高い各層端部が除去されるので、この発明のアクチュエータにおいては、上記マイクロクラックに起因する内部電極膜2A,2Bの層間短絡を生じることがない。
請求項（抜粋）：
圧電効果を示す薄板状セラミック片とそのセラミック片とほぼ同一形状の内部電極膜とを交互に積層して一体化した積層セラミック体と、前記積層セラミック体の積層方向に平行で互いに対向する一対の側面の一方および他方において、奇数番目および偶数番目の層の前記内部電極膜の露出部をそれぞれ覆う絶縁物膜と、前記絶縁物膜および前記内部電極膜の露出部を覆って前記一対の側面にそれぞれ設けられ、前記内部電極膜の露出部を外部駆動電源に電気的に接続する外部電極膜とを含む積層型圧電アクチュエータにおいて、前記積層セラミック体の積層方向に平行な稜を断面円弧状または台形状に除去したことを特徴とする積層型圧電アクチュエータ。
IPC (2件)：
引用特許：
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