特許
J-GLOBAL ID：200903072482396662
プラズマ測定用プローブ
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三好 祥二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-262447
公開番号（公開出願番号）：特開平9-082489
出願日： 1995年09月14日
公開日（公表日）： 1997年03月28日
要約：
【要約】【目的】プラズマ測定用プローブに於いて、金属電極表面に反応生成物が堆積しない様にし、測定の精度を向上させると共に堆積物除去の清掃時間を短縮し、稼働率の向上を図る。【構成】電極板15の裏面に絶縁層16を堆積生成した後、ヒータ17を堆積生成し、又電極板の表面検出部15aを残して絶縁層を堆積生成したプラズマ測定用プローブに係り、プラズマ測定用プローブをヒータにより加熱することができるので、反応生成物のプローブへの堆積を抑止し得る。
請求項（抜粋）：
電極板の裏面にヒータを設けたことを特徴とするプラズマ測定用プローブ。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H05H 1/00 A
, H01L 21/302 B
