特許
J-GLOBAL ID：200903072487543019
走査型近接場光学顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
三品 岩男 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-047506
公開番号（公開出願番号）：特開平8-248043
出願日： 1995年03月07日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【目的】 微弱光であっても、画像のコントラストを向上させることができる走査型近接場光学顕微鏡を提供する。【構成】 ステージ102の移動走査に伴って、光源205および開口207を被測定物3に対し、被測定物3の表面に平行な面内(水平面内)で振動させる。反射光は、プローブ213により取り込まれ、光ガイド212で光電変換器211に導かれ、検出信号225に変換される。励振信号323を参照信号として、この検出信号225をロックイン増幅器330で同期検出して、被測定物3表面での反射光の強度変化の振動と同期した成分を出力信号334として取り出す。出力信号334は、ステージ102の走査位置信号115を被測定物3表面上での位置として、表示装置等の表示画面上に表示される。
請求項（抜粋）：
被測定物の表面を三次元的に走査して、被測定物から放射される光を検出し、この検出した信号と走査位置とに基づいて被測定物表面の光学的性質を画像化する走査型近接場光学顕微鏡において、照明光を放射する光源と、この光源から放射される照明光の波長より小さい直径を有し、検査すべき被測定物の表面に近接される開口と、前記照明光の照射に基づいて被測定物から放射される光を受光して電気信号に変換して検出信号を出力する光検出器と、前記開口を前記被測定物の表面に対し相対的に走査するための三次元走査機構と、前記開口を前記被測定物の被測定表面に平行な面内で振動させるための加振機構と、前記光検出器からの検出信号のうち、前記振動と同一の周波数成分からなる同期信号成分を取り出して、出力する信号処理装置とを備えることを特徴とする走査型近接場光学顕微鏡。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G01N 37/00 D
, G02B 21/00
