電気光学装置用基板およびこれを備えた電気光学装置並びに電子機器

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：上柳雅誉 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-322912
公開番号（公開出願番号）：特開2002-131778
出願日： 2000年10月23日
公開日（公表日）： 2002年05月09日
要約：

【要約】【課題】遮光性能が不十分であることによる光リーク電流が発生しにくい電気光学装置用基板およびこれを備えた電気光学装置並びに電子機器を提供する。【解決手段】一対の基板10、20間に電気光学材料50が狭持されてなる電気光学装置用基板であって、前記一対の基板10、20のうち一方の基板は、光透過性の絶縁基板からなり、前記絶縁基板の上には、単結晶シリコンからなる半導体層1aが設けられ、前記半導体層1aに対向する位置には、高融点の金属単体または金属化合物からなるメタル層M1と、前記メタル層M1の少なくとも一方の面に積層された無酸素系の高融点の金属単体または金属化合物からなるバリア層B1とを有する遮光膜111が設けられたものとする。

請求項（抜粋）：

互いに対向する一対の基板間に電気光学材料が狭持されてなる電気光学装置を構成する電気光学装置用基板であって、前記一対の基板のうち一方の基板は、光透過性の絶縁基板からなり、前記絶縁基板の上には、単結晶シリコンからなる半導体層が設けられ、前記半導体層に対向する位置には、高融点の金属単体または金属化合物からなるメタル層と、前記メタル層の少なくとも一方の面に積層された無酸素系の高融点の金属単体または金属化合物からなるバリア層とを有する遮光膜が設けられたことを特徴とする電気光学装置用基板。

IPC (3件)：

G02F 1/1368 , G09F 9/30 338 , H01L 29/786

FI (3件)：

G09F 9/30 338 , G02F 1/136 500 , H01L 29/78 619 B

Fターム (77件)：

2H092GA59 , 2H092JA25 , 2H092JA29 , 2H092JA38 , 2H092JA42 , 2H092JA43 , 2H092JB13 , 2H092JB23 , 2H092JB32 , 2H092JB33 , 2H092JB38 , 2H092JB51 , 2H092JB57 , 2H092JB63 , 2H092JB69 , 2H092KA04 , 2H092KA07 , 2H092KB23 , 2H092MA05 , 2H092MA07 , 2H092MA14 , 2H092MA15 , 2H092MA16 , 2H092MA18 , 2H092MA19 , 2H092MA20 , 2H092MA27 , 2H092MA28 , 2H092MA35 , 2H092MA37 , 2H092MA41 , 2H092NA22 , 2H092NA27 , 2H092NA28 , 2H092PA09 , 2H092RA05 , 5C094AA09 , 5C094BA03 , 5C094BA43 , 5C094CA19 , 5C094CA24 , 5C094DA15 , 5C094EA04 , 5C094EA05 , 5C094EA06 , 5C094EA07 , 5C094EB02 , 5C094EB05 , 5C094ED03 , 5C094FB14 , 5F110AA06 , 5F110AA30 , 5F110BB02 , 5F110CC02 , 5F110DD02 , 5F110DD03 , 5F110DD12 , 5F110DD13 , 5F110DD14 , 5F110EE28 , 5F110GG02 , 5F110GG12 , 5F110GG24 , 5F110GG25 , 5F110HL03 , 5F110HL05 , 5F110HL08 , 5F110HM14 , 5F110HM15 , 5F110NN42 , 5F110NN43 , 5F110NN45 , 5F110NN46 , 5F110NN48 , 5F110NN72 , 5F110QQ17 , 5F110QQ19

引用特許：

審査官引用 (2件)

半導体装置およびその作製方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2000-011374 出願人：株式会社半導体エネルギー研究所
液晶表示パネル及びその製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平9-247298 出願人：セイコーエプソン株式会社

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