特許
J-GLOBAL ID:200903072502669083
微小物体の外観検査装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
溝上 哲也 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-014390
公開番号(公開出願番号):特開2000-213922
出願日: 1999年01月22日
公開日(公表日): 2000年08月04日
要約:
【要約】【課題】 外観検査処理速度の高速化が図れ、良品と不良品とを確実に分別する微小物体の外観検査装置を提供することを目的としている。【解決手段】 本発明の微小物体の外観検査装置は、分別装置3を、フィーダ1の排出部1cから若干の距離を存してその周面が配置され、所定の速度で回転する回転円盤部材3Aと、この回転円盤部材3Aの周面に互いに所定間隔を存して形成され、該回転円盤部材3Aの径方向に開口した複数のポケット3Bと、これらポケット3Bの各々において内径方向に空気を吸引する吸引装置3Cと、この吸引装置3Cによる吸引のオン又はオフを切り替える切替装置3Dと、この切替装置3Dを微小物体の検査結果に基づいて制御する制御装置3Eとで構成したものである。
請求項(抜粋):
多数の微小物体をフィーダによって整列させ、フィーダから搬送される微小物体をカメラで撮像して外観を検査し、分別装置にて良品と不良品とに微小物体を分別する微小物体の外観検査装置において、分別装置を、フィーダの排出部から若干の距離を存してその周面が配置され、所定の速度で回転する回転円盤部材と、この回転円盤部材の周面に互いに所定間隔を存して形成され、該回転円盤部材の径方向に開口した複数のポケットと、これらポケットの各々において内径方向に空気を吸引する吸引装置と、この吸引装置による吸引のオン又はオフを切り替える切替装置と、この切替装置を微小物体の検査結果に基づいて制御する制御装置とで構成したことを特徴とする微小物体の外観検査装置。
IPC (3件):
G01B 11/24
, G01B 21/00
, G01N 21/89
FI (3件):
G01B 11/24 G
, G01B 21/00 H
, G01N 21/89 T
Fターム (31件):
2F065AA21
, 2F065AA49
, 2F065AA61
, 2F065BB15
, 2F065CC25
, 2F065DD06
, 2F065FF04
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065NN20
, 2F065PP11
, 2F065RR08
, 2F065TT01
, 2F065TT03
, 2F065TT07
, 2F069AA31
, 2F069AA60
, 2F069BB40
, 2F069DD15
, 2F069GG04
, 2F069GG07
, 2F069PP04
, 2F069PP06
, 2F069RR01
, 2G051AA61
, 2G051AB20
, 2G051CA03
, 2G051CA04
, 2G051DA02
, 2G051DA06
, 2G051DA13
引用特許:
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