特許

J-GLOBAL ID：200903072516324135

音響顕微鏡装置及び方法

発明者： カルヴィン エフ クウォート ,  バトラス ティー クーリー ヤクブ ,  シンヤ アカミネ ,  バブール ビー ハディミオグル
出願人/特許権者： ザ ボード オブ トラスティーズ オブ ザ リーランド スタンフォード ジュニア ユニバーシティ ,  バブール ビー ハディミオグル
代理人 (1件)： 中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-162917
公開番号（公開出願番号）：特開平5-188045
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1993年07月27日
要約：

【要約】【目的】その下面上の鋭いチップとその上面上の酸化亜鉛圧電薄膜とを備えたカンチレバーアームを含む目標物体の原子レベルの検査のための音響顕微鏡構成。【構成】少なくとも50メガヘルツの周波数を有する高周波励起信号を圧電薄膜210に印加して鋭いチップ104を通して伝送されて目標物体110に衝突する高周波音響信号を生成する。この構成においては、目標物体によって反射された音響信号を受信するか、目標物体を通って伝わった音響信号を受信するかすることができる。この構成を利用する1つの方法は、目標物体を走査しながら、圧電薄膜に持続波信号を印加し、伝送された高周波音響信号の共鳴周波数を測定することによって目標物体のいろいろな位置における特性を測定するものである。他の方法には、パルスによる動作や、この音響測定を、原子圧力測定および/またはトンネル電流測定と組み合わせて目標物体の特性を調べるものがある。

請求項（抜粋）：

上面と下面とを有するカンチレバーアームと、前記カンチレバーアーム下面上の鋭いチップと、前記カンチレバーアームの上面の少なくとも一部の上の圧電薄膜と、前記圧電薄膜に励起信号を印加して高周波音響信号を生成するために、前記圧電薄膜に結合する高周波励起手段とを有し、前記高周波音響信号は、前記鋭いチップを介して伝送されることを特徴とする音響顕微鏡装置。

IPC (2件)：

G01N 29/20 501 ,  G01B 17/00

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開平2-147951
  
• 特開平2-210633
  
• 特開平1-298551