特許
J-GLOBAL ID:200903072520162166

形状測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴江 武彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平4-101252
公開番号(公開出願番号):特開平5-296743
出願日: 1992年04月21日
公開日(公表日): 1993年11月09日
要約:
【要約】【目的】光源の点滅制御することなく、測定対象物での正反射光の画像を得ることが可能な形状制御装置を提供することにある。【構成】光透過窓27a〜27dを開口した遮光枠14と、遮光枠14を回転駆動して透過窓を変位させ、透過窓を光源に対向させるモ-タ24と、光透過窓27a〜27dの変位中の位置を検知する光透過窓位置検知部23と、はんだSで正反射した光を取込むカメラ17と、このカメラ17の出力に基づいて画像処理を行う画像処理装置18と、光透過窓位置検知部23の出力に基づいてカメラ17を制御する制御装置15とを備え、LED13a〜13dから発せられた光を光透過窓27a〜27dに通してはんだSへ導くとともに、LED13a〜13bと光透過窓27a〜27dとが対向するタイミングに同期して正反射光を撮像する。
請求項(抜粋):
複数の光源を点灯させて測定対象物を異なる角度から照明し、上記測定対象物の表面で正反射した光を撮像し、得られた画像から正反射光の像の位置を求めて上記測定対象物の3次元形状を測定する形状測定装置において、光透過窓を開口した遮光枠と、上記遮光枠を回転駆動して上記透過窓を変位させ、上記透過窓を上記光源に対向させる回転駆動部と、上記光透過窓の変位中の位置を検知する光透過窓位置検知部と、上記測定対象物で正反射した光を取込む撮像部と、この撮像部の出力に基づいて画像処理を行う画像処理部と、上記光透過窓位置検知部の出力に基づいて上記撮像装置を制御する制御部とを備え、上記光源から発せられた光を上記光透過窓に通して上記測定対象物へ導くとともに、上記光源と上記光透過窓とが対向するタイミングに同期して上記正反射光を撮像することを特徴とする形状測定装置。
IPC (4件):
G01B 11/24 ,  B23K 1/00 ,  G06F 15/70 335 ,  H05K 3/34

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