特許
J-GLOBAL ID：200903072522171812
ダイヤモンドの研磨方法
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
森本 義弘
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-230118
公開番号（公開出願番号）：特開平11-071198
出願日： 1997年08月27日
公開日（公表日）： 1999年03月16日
要約：
【要約】【課題】 平滑な面が得られるダイヤモンドの研磨方法を提供する。【解決手段】 真空チャンバ1内を、所定の真空下でかつ所定の高温度に加熱した雰囲気下で、被研磨材であるダイヤモンドDの研磨面に、回転する純鉄からなる研磨用板体5を接触させてダイヤモンドを研磨する際に、研磨用板体5のダイヤモンドDとの非接触面側から、ガス供給管6により水素ガスを供給して、ダイヤモンドD側から研磨用板体5内に拡散された炭素を炭化水素化させて放出させることにより、ダイヤモンドD側の炭素を損耗させる方法である。
請求項（抜粋）：
真空下でかつ所定温度に加熱した雰囲気下で、鉄系金属または炭素を固溶する金属からなる研磨用板体とダイヤモンドとを接触させて相対運動を行わせてダイヤモンドを研磨する際に、上記研磨用板体のダイヤモンドとの非接触面側へ水素ガスを供給することを特徴とするダイヤモンドの研磨方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
