特許

J-GLOBAL ID：200903072522936991

ドライフィルムレジスト

発明者： 田村 堅志 ,  小暮 栄吉
出願人/特許権者： 昭和電工株式会社
代理人 (1件)： 柿沼 伸司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-041976
公開番号（公開出願番号）：特開2003-241369
出願日： 2002年02月19日
公開日（公表日）： 2003年08月27日
要約：

【要約】【課題】保護フィルムと感光層との剥離性に優れたドライフィルムレジストを提供すること。【解決手段】支持フィルム、表面張力が50dyn/cm以上の感光層および感光層と接触する面の表面張力が40dyn/cm以下である保護フィルムをこの順で積層したドライフィルムレジスト。保護フィルムはシリコーン化合物を含む剥離層が設けられたポリエステルフィルムであって、感光層と保護フィルムとの剥離強度が50gf/50mm以下となるようにされたものが好ましい。

請求項（抜粋）：

支持フィルム、感光層、及び保護フィルムをこの順で積層してなるドライフィルムレジストにおいて、感光層の表面張力が50dyn/cm以上であって、且つ、保護フィルムの、感光層と接触する面の表面張力が40dyn/cm以下であることを特徴とするドライフィルムレジスト。

IPC (4件)：

G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/11 501 ,  H05K 3/00

FI (4件)：

G03F 7/004 512 ,  G03F 7/027 515 ,  G03F 7/11 501 ,  H05K 3/00 F

Fターム (17件)：

2H025AA14 ,  2H025AA16 ,  2H025AB11 ,  2H025AB15 ,  2H025AC01 ,  2H025AD01 ,  2H025BC13 ,  2H025BC42 ,  2H025BC74 ,  2H025BC81 ,  2H025BC85 ,  2H025BC86 ,  2H025CA00 ,  2H025CC20 ,  2H025DA01 ,  2H025DA33 ,  2H025FA17