特許
J-GLOBAL ID：200903072525530260
半田ボール搭載検査装置及び検査方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
池浦 敏明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-086483
公開番号（公開出願番号）：特開2003-282618
出願日： 2002年03月26日
公開日（公表日）： 2003年10月03日
要約：
【要約】 (修正有)【課題】 フラックスでの乱反射や外乱光の影響を排除でき、検査精度の向上した半田ボール搭載検査装置を提供する。【解決手段】 半導体装置のパッド電極に搭載されたフラックス付き半田ボールを撮像する撮像手段1と、画像データを複数の画素に分割し、画素毎に輝度データを求める画像処理手段2と、良品輝度データ格納手段3と、画像処理手段2から画素毎の輝度データを取得するとともに、良品輝度データ格納手段3から画素毎の輝度データを取得し、画素毎に両者の輝度差を求める輝度差算出手段4と、良品の画素毎の輝度データに基づいて画素毎のフィルタ関数を作成し、登録しておくフィルタ関数作成登録手段5と、輝度差算出手段4で求めた画素毎の輝度差に対し、フィルタ関数作成登録手段5から得た対応画素のフィルタ関数をかけ、その出力に基づいて、フラックス付き半田ボールの搭載状態の良否を判定する良否判定手段6とから構成される。
請求項（抜粋）：
半導体装置のパッド電極に搭載されたフラックス付き半田ボールを撮像する撮像手段と、該撮像手段により撮像されたフラックス付き半田ボールの画像データを複数の画素に分割し、画素毎に輝度データを求める画像処理手段と、良品であるフラックス付き半田ボールの画素毎の輝度データを格納しておく良品輝度データ格納手段と、該画像処理手段から画素毎の輝度データを取得するとともに、該良品輝度データ格納手段から画素毎の輝度データを取得し、画素毎に両者の輝度差を求める輝度差算出手段と、良品であるフラックス付き半田ボールの画素毎の輝度データに基づいて画素毎のフィルタ関数を作成し、登録しておくフィルタ関数作成登録手段と、該輝度差算出手段で求めた画素毎の輝度差に対し、該フィルタ関数作成登録手段から得た対応画素のフィルタ関数をかけ、その出力に基づいて、フラックス付き半田ボールの搭載状態の良否を判定する良否判定手段とを具備することを特徴とする半田ボール搭載検査装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/92 604 T
, G01B 11/24 K
2F065AA51
, 2F065AA61
, 2F065BB05
, 2F065CC26
, 2F065DD15
, 2F065FF04
, 2F065FF42
, 2F065JJ03
, 2F065JJ26
, 2F065QQ24
, 2F065QQ33
, 2F065RR08
