特許
J-GLOBAL ID：200903072530131641
アルマイト膜形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
石戸 元
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-265466
公開番号（公開出願番号）：特開平8-124920
出願日： 1994年10月28日
公開日（公表日）： 1996年05月17日
要約：
【要約】【目的】 プラズマにさらされてもアルミ表面からの不純物放出を抑制し、ウェーハ表面への不純物付着を防止してIC不良を防止する。【構成】 脱脂処理の際、可性ソーダの代りに有機溶剤と純水を使用することを特徴とする。
請求項（抜粋）：
脱脂処理の際、可性ソーダの代りに有機溶剤と純水を使用することを特徴とするアルマイト膜形成方法。
IPC (2件)：
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