特許

J-GLOBAL ID：200903072531029301

位置検出方法、位置検出装置、露光方法、及び露光装置

発明者： 吉田 幸司
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 立石 篤司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-075050
公開番号（公開出願番号）：特開2001-267216
出願日： 2000年03月17日
公開日（公表日）： 2001年09月28日
要約：

【要約】【課題】 物体に形成されたマークの位置を精度良くかつ迅速に検出する。【解決手段】 ステップ202における観察装置によるマークの観察によって得られた観察結果について、ステップ203において、抽出装置が、当該観察結果と所定のテンプレートとの相関係数の分布が単峰となる、観察結果と所定のテンプレートとの相対位置の定義域領域を抽出する。そして、ステップ204において、探索装置が、抽出された定義域領域内において観察結果と所定のテンプレートとの相関係数が最大となる観察結果と所定のテンプレートとの位置関係を山登り法によって求め、求められた位置関係に基づいて、位置算出装置が、マークの位置を求める。この結果、迅速かつ精度良くマークの位置を検出することができる。

請求項（抜粋）：

物体に形成されたマークの位置を検出する位置検出方法であって、前記マークを観察する第1工程と;前記第1工程における観察結果から、前記マークを反映した観察結果を含み、前記観察結果と所定のテンプレートとのテンプレートマッチングによって得られる相関係数が単峰性の分布となる定義域領域を抽出する第2工程と;前記定義域領域において前記相関係数が最大となる前記観察結果と前記所定のテンプレートとの位置関係を、山登り法によって求める第3工程と;前記第3工程によって求められた位置関係に基づいて前記マークの位置を検出する第4工程とを含む位置検出方法。

IPC (3件)：

H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00

FI (3件)：

G01B 11/00 C ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 W

Fターム (33件)：

2F065AA02 ,  2F065AA07 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC20 ,  2F065DD06 ,  2F065FF07 ,  2F065FF42 ,  2F065FF61 ,  2F065GG01 ,  2F065HH05 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ08 ,  2F065LL21 ,  2F065MM03 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ13 ,  2F065QQ17 ,  2F065QQ23 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ38 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046EA03 ,  5F046EA09 ,  5F046EB07 ,  5F046FA10 ,  5F046FA17 ,  5F046FB04 ,  5F046FB13 ,  5F046FC04 ,  5F046FC06