特許

J-GLOBAL ID：200903072531572862

位置検出装置

発明者： 香山 俊 ,  片岡 安弘 ,  西山 和夫 ,  福久 孝治
出願人/特許権者： ソニー株式会社 ,  北陸電気工業株式会社
代理人 (1件)： 岡▲崎▼ 信太郎 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-120412
公開番号（公開出願番号）：特開2000-310524
出願日： 1999年04月27日
公開日（公表日）： 2000年11月07日
要約：

【要約】【課題】 小型化が図れるとともにコストダウンが図れ信頼性の高い位置検出装置を提供すること。【解決手段】 移動する移動体14に設けられて移動する方向X1,X2に沿って複数の凹部50と凸部60が交互に形成されている半導体素子40と、半導体素子40の凹部50と凸部60が移動体14とともに移動する際に、半導体素子40の凹部50と凸部60が発生する空気の圧力変化を検出する圧力変化検出部42と、を備える。

請求項（抜粋）：

移動する移動体に設けられて前記移動する方向に沿って複数の凹部と凸部が交互に形成されている半導体素子と、前記半導体素子の前記凹部と前記凸部が前記移動体とともに前記移動する際に前記半導体素子の前記凹部と前記凸部が発生する空気の圧力変化を検出する圧力変化検出部と、を備えることを特徴とする位置検出装置。

IPC (2件)：

G01B 21/00 ,  H01L 21/02

FI (2件)：

G01B 21/00 A ,  H01L 21/02 A

Fターム (14件)：

2F069AA02 ,  2F069AA06 ,  2F069DD27 ,  2F069GG04 ,  2F069GG06 ,  2F069GG16 ,  2F069GG20 ,  2F069GG63 ,  2F069HH21 ,  2F069HH30 ,  2F069JJ13 ,  2F069MM08 ,  2F069MM11 ,  2F069RR03