特許
J-GLOBAL ID：200903072534622011
薄膜半導体装置およびそれを用いた液晶表示装置
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
須山 佐一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-284672
公開番号（公開出願番号）：特開平7-140486
出願日： 1993年11月15日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 検査時に塵埃が発生することなくかつ外部接続が簡易な薄膜半導体装置を実現する。【構成】 導通検査や動作検査などの電気的検査を行なう際に硬い検査用プローブを検査用パッド部分100や検査用パッド部分107に当接させても、検査用パッド部分100や検査用パッド部分107の最上層にはそれぞれ透明導電層106が形成されてその下の比較的柔らかいAl層104や信号線108などを保護しているので、その比較的柔らかいAl層104などの材質に対するプローブの当接の際の傷付きによって生じていた塵埃の発生に起因した短絡等の不良発生を防ぐことができる。
請求項（抜粋）：
外部接続用パッドおよび導通検査用パッドを有する配線を備えた薄膜半導体装置において、前記接続用パッドの最上層が外部の配線との接続を取る接続用パッドとしてアルミニウムからなる層で形成され、前記検査用パッドの少なくともその最上部に透明導電層が形成されていることを特徴とする薄膜半導体装置。
IPC (2件)：
G02F 1/136 500
, G02F 1/1345
