特許

J-GLOBAL ID：200903072536076600

次亜塩素酸含有水溶液による室内殺菌・脱臭方法及び装置

発明者： 岡 崎 良 弥
出願人/特許権者： ブイティーエイ株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-115373
公開番号（公開出願番号）：特開2000-300649
出願日： 1999年04月22日
公開日（公表日）： 2000年10月31日
要約：

【要約】【課題】 ケミカル・ドライ・エッチング装置におけるマイクロ波放電を容易かつ確実化するための電気的な励起装置を提供すること。【解決手段】 処理室に連通した放電管DTにマイクロ波Mを与えてマイクロ波放電を行うに際し、前記放電管内を励起してマイクロ波放電する方法における、前記放電管に高周波、高電圧のパルス状電圧による電界を供給し、グロー放電を開始させるようにしたことを特徴とするマイクロ波放電方法、および処理室に連通した放電管と、この放電管にマイクロ波を与えるマイクロ波源と、前記放電管の周囲に設けられた一対の電極Eと、前記電極に高周波、高電圧のパルス状電圧を供給するパルス電源と、をそなえたマイクロ波放電装置。

請求項（抜粋）：

次亜塩素酸含有水溶液に超音波を作用させて液面から水溶液の微粒子を生成する工程と、この水溶液の微粒子に、水溶液の液面と微粒子成長管との間の開口から送風手段からの気流を送り、微粒子を微粒子成長管へ導いて成長させる工程と、微粒子成長管内の微粒子を送風手段からの気流により微粒子拡散管へ送る工程と、送風手段からの気流を微粒子成長管と微粒子拡散管との間の通気口から微粒子拡散管へ送り、微粒子拡散管内において微粒子を拡散させ、その後微粒子拡散管から微粒子を外方へ放出する工程と、を備えたことを特徴とする次亜塩素酸含有水溶液による室内殺菌・脱臭方法。

IPC (3件)：

A61L 2/18 ,  A61L 2/20 ,  A61L 9/01

FI (3件)：

A61L 2/18 ,  A61L 2/20 Z ,  A61L 9/01 B

Fターム (18件)：

4C058AA02 ,  4C058AA23 ,  4C058BB07 ,  4C058CC02 ,  4C058JJ16 ,  4C080AA07 ,  4C080BB02 ,  4C080BB05 ,  4C080CC12 ,  4C080HH02 ,  4C080HH03 ,  4C080JJ01 ,  4C080KK06 ,  4C080MM09 ,  4C080NN01 ,  4C080QQ11 ,  4C080QQ17 ,  4C080QQ20