特許
J-GLOBAL ID：200903072537973478
基板供給装置および基板収容容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-169627
公開番号（公開出願番号）：特開平7-142308
出願日： 1993年06月16日
公開日（公表日）： 1995年06月02日
要約：
【要約】【目的】 露光装置等に対するレチクル等の基板の供給工程を簡略化する。【構成】 露光装置の露光台5にレチクルLを供給するライブラリ1は、カセット搬出入位置P1 とレチクル取出位置P2 の間を軌道帯11によって往復移動される複数のボックス12を有し、各ボックス12は、カセット搬出入位置P1 でカセット2を受取り、レチクル取出位置P2 に運ばれる。ここで、カセット開閉アーム3によってカセット2の扉を開き、ハンド4によってカセット2からレチクルLを取出して露光台5へ運ぶ。カセット2は、ボックス12とともにカセット搬出入位置P1 へもどり、ここでボックス12から取出される。
請求項（抜粋）：
それぞれ基板を入れた基板収容容器を受取りおよび排出自在に構成された複数のキャリヤと、各キャリヤを所定の無限軌道に沿って移動させる軌道帯からなる収納手段を有する基板供給装置。
IPC (4件)：
H01L 21/02
, B65G 49/07
, G03F 7/20 521
, H01L 21/68
