特許

J-GLOBAL ID：200903072538508566

表面分析方法及び表面分析装置

発明者： 滝澤 律夫
出願人/特許権者： ソニー株式会社
代理人 (1件)： 船橋 國則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-341773
公開番号（公開出願番号）：特開平7-159293
出願日： 1993年12月10日
公開日（公表日）： 1995年06月23日
要約：

【要約】【目的】 再現性が良く信頼性の高い測定結果を得ることができる表面分析方法及び表面分析装置を提供することを目的とする。【構成】 第1の工程(1)では、フッ化水素酸溶液からなる回収液3の液滴31をシリコンウエハからなる試料1上に形成する。第2の工程(2)では、サンプル採取管21の先端を液滴31に接触させながら移動して液滴31を試料1の上面で走査させ、液滴31中に試料1表面の汚染物質を回収する。第3の工程(3)では、回収液3の液滴31をサンプル採取管21の先端211からサンプル採取管21内に採取する。第4の工程(4)で、サンプル採取管21の先端211から分析手段22に回収液3を直接注入し、分析手段22によって回収液3中に回収された汚染物質を分析する。これによって、汚染物質を回収した回収液3がサンプル採取管のみを介して分析手段に注入されるようにした。

請求項（抜粋）：

試料表面の汚染物質を分析する方法であって、試料表面の汚染物質を回収する回収液の液滴を前記試料上に形成する第1の工程と、前記回収液の液滴にサンプル採取管の先端を接触させた状態を保ちながら当該サンプル採取管を移動させることによって、当該回収液の液滴を当該試料上面で走査させ、当該回収液の液滴中に前記試料表面の汚染物質を回収する第2の工程と、前記回収液の液滴を前記サンプル採取管の先端から当該サンプル採取管内に採取する第3の工程と、前記サンプル採取管の先端から前記回収液の分析手段に当該回収液を直接注入し、当該分析手段によって前記回収液中に回収された汚染物質を定量分析する第4の工程とを行うことを特徴とする表面分析方法。

IPC (7件)：

G01N 1/02 ,  G01N 1/00 101 ,  G01N 1/28 ,  G01N 21/00 ,  G01N 21/31 ,  G01N 21/73 ,  H01L 21/66