特許
J-GLOBAL ID：200903072544041831
電子顕微鏡等の試料装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
蛭川 昌信 (外7名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-044370
公開番号（公開出願番号）：特開平5-242846
出願日： 1992年03月02日
公開日（公表日）： 1993年09月21日
要約：
【要約】【目的】 試料ホルダを小型化かつチップ化し、試料受台に超高真空中で搬送、装着できると共に、回転かつ加熱可能にする。【構成】 押し棒により駆動されるテコ、ローラにより支持され、テコにより押されて回転する試料取付台、試料取付台に接続されて回転した試料取付台を復帰させるためのスプリング、試料取付台に接続され、試料取付台の回転を吸収可能な電極により試料ホルダを小型化、チップ化して構成し、チップ化した試料ホルダはゴニオメータ先端に設けられた試料受台に取り付けられ、操作棒の直線動により試料取付台が回転し、さらに試料受台の電気的接点を通して試料が通電加熱される。
請求項（抜粋）：
球面軸受で支持されると共に、一端が試料室と大気とをシールする金属ベローに接続された中空フレームを有し、中空フレーム外周部に設けられた駆動手段により中空フレーム自体を駆動すると共に、磁気結合により中空フレーム内に設けられた中空パイプを駆動して試料を動かすようにしたサイドエントリーゴニオメータであって、前記中空パイプ先端に取り付けられた押し棒により駆動されるテコ、テコにより押されて回転する試料取付台、試料取付台に接続されて回転した試料取付台を復帰させるためのスプリングを備え、押し棒の直線動により試料を回転することができる構造としたことを特徴とする電子顕微鏡等の試料装置。
IPC (2件)：
前のページに戻る
