ポリイミド系感光性樹脂組成物

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出願人/特許権者： ,
代理人 (1件)：西川繁明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-324453
公開番号（公開出願番号）：特開平11-282157
出願日： 1998年10月30日
公開日（公表日）： 1999年10月15日
要約：

【要約】 (修正有)【課題】アルカリ現像液またはアルカリ水溶液により現像可能で、しかも残留応力及び熱膨張率が小さな膜を形成できるポリイミド系感光性樹脂組成物。【解決手段】 (A)主鎖中に、テトラカルボン酸またはその酸無水物とジアミン化合物との重縮合生成物から形成された式(1)(R1は、4価の有機基であり、R2は、2価の有機基である。)で表される繰り返し単位を有し、かつ、両末端に化学線官能基が導入されたポリアミック酸、(B)光重合性官能基を有する感光助剤、(C)光重合開始剤、及び(D)溶剤を含有する組成物において、?@ポリアミック酸が、式(1)で表される繰り返し単位を単位分子量と定義した場合、カルボキシル基一個当りの単位分子量の値(単位分子量/COOH)が200〜300の範囲内にあり、?A基板上に、残留応力が40MPa以下で、熱膨張率が30ppm/°C以下のポリイミド膜を形成可能なポリイミド系感光性樹脂組成物。

請求項（抜粋）：

(A)主鎖中に、テトラカルボン酸またはその酸無水物とジアミン化合物との重縮合生成物から形成された式(1)【化1】(式中、R1は、4価の有機基であり、R2は、2価の有機基である。)で表される繰り返し単位を有し、かつ、両末端に化学線官能基が導入されたポリアミック酸、(B)光重合性官能基を有する感光助剤、(C)光重合開始剤、及び(D)溶剤を含有する感光性樹脂組成物において、?@ポリアミック酸が、式(1)で表される繰り返し単位を単位分子量と定義した場合、カルボキシル基一個当りの単位分子量の値(単位分子量/COOH)が200〜300の範囲内にあるものであり、?A該感光性樹脂組成物が、基板上に、残留応力が40MPa以下で、熱膨張率が30ppm/°C以下のポリイミド膜を形成可能なものであることを特徴とするポリイミド系感光性樹脂組成物。

IPC (9件)：

G03F 7/037 501 , C08F290/06 , C08G 73/12 , C09D 5/00 , C09D179/08 , G03F 7/027 502 , G03F 7/038 504 , G03F 7/30 , H01L 21/027

FI (9件)：

G03F 7/037 501 , C08F290/06 , C08G 73/12 , C09D 5/00 C , C09D179/08 Z , G03F 7/027 502 , G03F 7/038 504 , G03F 7/30 , H01L 21/30 502 R

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