特許
J-GLOBAL ID：200903072559646888
インクジェット式印字ヘッド
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
中村 稔 (外6名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-162546
公開番号（公開出願番号）：特開平5-193134
出願日： 1992年06月22日
公開日（公表日）： 1993年08月03日
要約：
【要約】 (修正有)【目的】 インク流入口の上に一体形シリコンフィルタを有するインクジェット式印字ヘッド。【構成】 チャネルウェーハを、パターン付けされた耐エッチング性マスク層を通じてシリコンウェーハの一つの面から配向依存エッチングすることにより、各々が所定の深さ及び床厚を有する複数のリザーバ凹所24、ならびに、各リザーバ凹所24に対して1組のチャネル溝20があるように複数組の並列インクチャネル溝20を作る。チャネルウェーハの両面上の耐エッチング性マスク層を除去し、その上に第2の耐エッチング性マスク層を堆積させる。チャネル溝20及びリザーバ凹所24を有する面と反対の面上の第2のマスク層にパターン付けして、リザーバ凹所24の底と整合するフィルタ細口道の複数のパターンを作る。ヒータウェーハとの結合の前のチャネルウェーハの第2の配向依存エッチング段階によって印字ヘッドフィルタを作る。
請求項（抜粋）：
インク中で運ばれる汚染物質により後続の製作段階中または印字モード中に汚染物質が印字ヘッドに入ることを妨げるために一体形フィルタ付きのインク流入口を有するインクジェット式印字ヘッドにおいて、各々が第1及び第2の互いに反対の面を有する第1及び第2の基体を備え、前記第1の基体の第1の面は加熱素子の線形アレイ及びその上に形成された関連の電極を有しており、前記第2の基体の第1の面は所定厚さの底床を持つインクリザーバ凹所を有し、且つ並列する一組の細長い溝を有し、前記溝は互いに反対の端部を有し、その一方の端部は開口し且つ他方の端部は前記リザーバ凹所に隣接し、前記リザーバ凹所及び溝は前記第2の基体の第1の面上の第1の耐エッチング性素材のパターン付け層を通じてエッチングされ、この間、前記第2の基体の第2の面は第1の耐エッチング性素材の層によってエッチングが妨げられ、前記リザーバ凹所は一体形フィルタ付き流入口として用いるための複数の所定大きさの開口部を有する所定厚さの床を含んでおり、前記リザーバ凹所床内の複数の開口部は、前記第2の基体の第2の面上にその後に披着及びパターン付けされた第2の耐エッチング性素材の層を通じてエッチングすることによって作られ、この間、前記リザーバ凹所及び前記組の溝は第2の耐エッチング性素材の層によってエッチングを妨げられるようになっており、前記第1の基体の第1の面は前記リザーバ凹所及び前記組の溝を有する前記第2の基体の第1の面に整合及び結合される加熱素子及びアドレス指定電極を有し、もって、各前記溝は、インクチャネルとして働き、且つ前記溝の開口端部から所定距離の間隔をおいて配置された1つの加熱素子を有し、もって、前記溝はインクチャネルとして働き、及び前記溝開口端部はインク滴放出ノズルとして働き、及び前記リザーバ凹所はインクのためのリザーバとして働いてこれから前記チャネルが充填されるようになっており、更に、前記溝を前記リザーバ凹所と連通させるための手段と、前記一体形フィルタ付きリザーバ流入口に所定圧力でインクを提供するための手段とを備え、もって、インクは前記リザーバに及び次いで前記チャネルに流入するときに前記一体形フィルタを通って流れてこれによって濾過され、メニスカスが前記ノズルに形成され、前記メニスカスは、前記インク圧と組み合わさって、インクがこれから漏れ出ることを妨げるようになっており、更に、前記加熱素子と接触しているインク内にあって前記ノズルからインク滴を放出させる瞬間的気泡を生じさせるため、前記アドレス指定電極を介して前記加熱素子に電気パルスを選択的に印加するための手段の備えてなるインクジェット式印字ヘッド。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B41J 3/04 103 B
, B41J 3/04 103 H
